R8C/L38C　タイマRAとタイマRCのパルス出力

お世話になります。

・タイマRAのパルス出力モード
・タイマRCのアウトプットコンペア機能

上記それぞれの方法でパルスを出力させたところ、タイマRCの出力がタイマRAに比べてパルス幅の誤差が大きくなりました。
ひどい時には60usecほどずれます。

できればタイマRCを使いたいのですが、この程度の誤差はしょうがないのでしょうか？精度を上げる方法があれば知りたいです。
ちなみに試したのはTRCGRAのコンペア一致でTRCIOAをトグル出力させる方法です。